Granville-Phillips® 390 微离子模块将成熟的微离子®电离计技术与微型传导管热损失传感器和两个压阻式传感器相结合，提供从高真空到大气的准确、连续的压力测量。使用其隔膜传感器，该产品能够提供精确的绝对压力，直至大气压，并精确指示真空室与环境的压差。
- 连续压力测量从 10-9Torr 到大气压
- 大气压差的精确测量
- 双电离计灯丝可延长设备正常运行时间
- 用于过程控制的可选设定点继电器
- 模拟、RS-485、DeviceNet 或 EtherCAT 接口
- 可选图形 LCD 显示屏
规格
绝对测量范围
1 x 10-9 Torr 至大气压 1.33 x 10-9 mbar 至大气压 1.33 x 10-7 帕斯卡至大气压
（空气或 N2）
差分测量范围
-750 至 +250 Torr-999
至 +188 mbar-99.9
至 18.8 kPascal
类型
真空传感器
传感器
电离计
显示
图形 LCD（可选）
工作温度
10° 至 40°C（50° 至 104°F）
最高烘烤温度
最高 105°C （221°F），移除电子元件
储存温度
-40° 至 +70°C（-40° 至 +158°F）
模拟输出
绝对值：对数，0.5 至 7.0 VDC，0.5 V/十倍频程
差分：线性 1-5 VDC，-750 至 +250 Torr
内部容积
10.8毫升
暴露材料
304不锈钢，钽，钨，钇涂层铱，氧化铝，CuAg共晶，可伐合金，镀金或镀镍可伐合金，硼硅酸盐玻璃
电子外壳和法兰
铝挤压与粉末涂层
重量
728.5 克（25.7 盎司） – 2.75 ConFlat 接头）
合规
CE认证
量程温度系数
-10
X射线限值
3 x 10-10托
4 x 10-10毫巴
4 x 10-8帕斯卡
LED指示灯
模块状态
特征
独特的传感器设计
传统上，在较宽的真空范围内进行精确测量需要多个传感器、多个真空系统端口、相关电缆和电子设备。独特的微离子ATM传感器设计消除了热效应，这些效应会影响热损失传感器在较高压力下的性能。Micro-Ion ATM 模块将多个传感器组合在一个基于微处理器的设计中，降低了总体拥有成本，同时提高了真空测量性能。®
模拟输出和数字接口
全量程压力测量可作为单个模拟信号输出，也可通过可选的串行 RS-485、DeviceNet™ 或 EtherCAT™ 数字接口进行。RS-485 接口允许模块和主机控制器之间的通信以及模块配置。DeviceNet接口提供对压力测量的高速访问和仪表参数的轻松配置。EtherCAT 接口提供“动态处理”原则，最大限度地减少处理延迟。RS-485、DeviceNet 和 EtherCAT 版本具有多达三个可选的设定点继电器，可配置为过程控制，能够将继电器分配到真空压力范围内的任何压力或特定的压差值。
紧凑型设计
一个微离子计、一个带气压膜片传感器的热损失传感器、一个绝对压力膜片和控制电子元件都封装在一个紧凑的模块化封装中。
可现场更换的仪表组件
从真空系统中拆下后，只需使用螺丝刀即可在现场快速轻松地更换真空计组件。
进口仪器仪表 —埃华德机电科技 
