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390微离子®ATM模块化真空压力传感器-进口仪器仪表—埃华德机电科技

MKS真空薄膜计/

390 微离子® ATM 模块化真空压力传感器

Granville-Phillips® 390 微离子模块将成熟的微离子®电离计技术与微型传导管热损失传感器和两个压阻式传感器相结合,提供从高真空到大气的准确、连续的压力测量。使用其隔膜传感器,该产品能够提供精确的绝对压力,直至大气压,并精…

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Granville-Phillips® 390 微离子模块将成熟的微离子®电离计技术与微型传导管热损失传感器和两个压阻式传感器相结合,提供从高真空到大气的准确、连续的压力测量。使用其隔膜传感器,该产品能够提供精确的绝对压力,直至大气压,并精确指示真空室与环境的压差。

 

  • 连续压力测量从 10-9Torr 到大气压
  • 大气压差的精确测量
  • 双电离计灯丝可延长设备正常运行时间
  • 用于过程控制的可选设定点继电器
  • 模拟、RS-485、DeviceNet 或 EtherCAT 接口
  • 可选图形 LCD 显示屏

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