392 Micro-Ion® Plus 模块化真空压力传感器

392 Micro-Ion® Plus 是第二代全量程压力测量模块，将行业标准的微离子®电离计技术与微型皮拉尼传导管热损失传感器相结合，提供从高真空到大气的准确、连续的压力测量。

连续压力测量从 10^-9Torr 到大气压

• 双电离计灯丝，可延长设备正常运行时间
• EtherCAT、RS-485 和 DeviceNet 具有用于过程控制的可选设定点继电器
• 电离计激活和停用的自动化
• 可现场更换的仪表组件，可降低拥有成本

• 规格

  • 绝对测量范围
    1 x 10^-9托比
    1.33 x 10^-9mbar 至 大气
    压 1.33 x 10^-7帕斯卡到大气
    （空气或N2）
  • 类型
    真空传感器
  • 传感器
    微离子电离传感器和皮拉尼传导管传感器
  • 工作温度
    10 – 40°C （50 – 104°F）
  • 最高烘烤温度
    最高 05°C （221°F），移除电子设备
  • 储存温度
    -40 至 +70°C（-40 至 +158°F）
  • 模拟输出
    对数，0.5 至 7.0 VDC，0.5 V/十倍频程
  • 内部容积
    10.8毫升

  • 暴露材料
    304不锈钢，钽，钨，钇涂层铱，氧化铝，CuAg共晶，可伐合金，镀金或镀镍可伐合金，硼硅酸盐玻璃
  • 电子外壳和法兰
    铝挤压与粉末涂层
  • 合规
    RoHS、CE 认证
  • 灯丝
    钨或钇涂层铱
  • X射线限值
    3 x 10^-10托
    4 x 10^-10毫巴
    4 x 10^-8帕斯卡
  • 发射电流
    自动量程
  • 德加
    电子轰击;3 瓦 1 分钟/灯丝

  特征

  模拟输出和数字接口

   

  全量程压力测量可作为单个模拟信号输出，也可通过可选的 RS-485、DeviceNet 或 EtherCAT 数字接口进行测量。最多可提供三个可选的设定点继电器，它们可以配置为过程控制，并能够在宽真空范围内分配任何压力下的继电器。392 系列 Micro-Ion Plus 可带或不带显示屏，并可配置多种法兰。

   

  

  传感器开关点

  微离子和皮拉尼传导管传感器技术

   

  392 系列微离子 Plus 将 Granville-Phillips® 行业标准和经过应用测试的微离子电离传感器与创新的微型皮拉尼传导管传感器结合在一个单一的仪表组件外壳中，该封装连接到紧凑的电子控制模块。这种紧凑的模块化设计减少了全量程压力测量通常需要的独立压力表、真空接口、电缆和控制电子设备的数量。全量程压力测量可作为单个模拟信号输出，也可通过可选的 RS-485、DeviceNet 或 EtherCAT 数字接口进行测量。

   

  集成仪表组件电子存储器

   

  第二代 Micro-Ion Plus 集成了仪表组件电子存储器，其中包含工厂校准信息。控制模块使用电子存储器为新的和更换的仪表提供工厂级的校准精度，并跟踪仪表管的使用信息，以便MKS服务团队可以快速了解您的应用环境。微型皮拉尼传导管通过在真空计范围内实现更好的热管理，提高了精度。最后，392 系列和 390 系列微离子 ATM 现在共享一个通用平台，通过大批量生产提高产品质量。

   

  可现场更换的仪表组件

   

  从真空系统中拆下后，只需使用螺丝刀即可在现场快速轻松地更换真空计组件。集成的电子仪表组件校准信息确保了更换仪表的准确性和可重复性。