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901PMicroPirani™和压电负载锁定真空压力传感器-进口仪器仪表—埃华德机电科技

MKS真空薄膜计/

901P MicroPirani™ 和压电负载锁定真空压力传感器

901P MicroPirani™ 和压电负载锁定真空压力传感器 特征 绝对压力和差压测量   901P 结合了绝对压力和差压测量技术,可提供卓越的性能和功能。901P 提供获得专利的、不受气体影响的 50 -1000 Torr …

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901P MicroPirani™ 和压电负载锁定真空压力传感器

特征

绝对压力和差压测量

 

901P 结合了绝对压力和差压测量技术,可提供卓越的性能和功能。901P 提供获得专利的、不受气体影响的 50 -1000 Torr 绝对压力测量,与热导率传感器相比精度更高。

 

MicroPirani™ 传感器技术

 

与传统的皮拉尼测量仪不同,MicroPirani™中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成,允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了MicroPirani™技术,901P可以读取低至10的压力-5Torr,比标准皮拉尼传感器低二十年。传感器设计最大限度地减少了对流的影响,因此 901P 可以安装在任何方向上,而不会影响精度。

 

压电差分传感器技术

 

压电陶瓷是一种差压传感器,可确保在不同的气压条件下正确测量大气压力。压电技术是直接压力读数,允许测量与气体无关。压电传感器相对于大气压的测量范围为 -760 至 +760 Torr。

 

模拟压力输出

 

901P 还具有每十倍频程 1VDC 的模拟压力输出,可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。辅助可选模拟输出用于提供压差测量。

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