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902B 压电传感器将基于 MEMS 的压电传感器的压力测量技术与金属密封不锈钢 316 膜片和集成电子元件相结合。902B 提供经济的绝对压力测量，不受气体类型的影响。
- 测量范围为 0.1 至 1000 Torr 的低成本传感器
- 固态压电传感器，可抵抗突气和振动造成的损坏
- 坚固的设计和不锈钢结构，适用于恶劣工艺
- 与气体无关的压力测量，用于精确的压力测量
- 紧凑的系统设计，将电子元件和传感器集成在一个单元中
- 可安装在任何方向，便于安装
规格
- 数字通信RS485、RS232 或 EtherCAT
- 传感器不锈钢封闭式压电陶瓷（绝对压力）
- 继 电器3 个继电器 SPDT EtherCAT 1 个继电器 SPDT
（可选）
- 安装方向任何
- 测量范围0.1-1000 托
- 设定点范围1-1000 托
- 工作温度0-40°摄氏度（32-104°F）
- 最高烘烤温度100°C （非工作状态）
- 模拟输出0-10 VDC，最大输出阻抗 100 Ω，线性或对数
（绝对压力） - 模拟输出分辨率16 位
- 继电器触点额定值1 A @ 30 VAC/VDC 电阻
- 继电器响应最大 100 ms
- 电源要求9 至 30 VDC <最大
1.2 瓦 EtherCAT 24V ±15% - 准确性100-1000 托±读数
的 1% 10-100 托±读数的 5% - 重复性100-1000 托±读数
的 0.3% 10-100 托±读数的 1% - 过压极限1500 托
- 内部容积1.023 cc （KF16）
- 暴露材料316不锈钢
- 电子外壳和法兰304不锈钢
- 重量0.37 磅（170 克），带 KF16 法兰
- 合规CE、ETG 5003.1、ETG 5003.2、ETG 5003.2080
- 数字输出分辨率0.1 托
- 零温度系数满量程的 0.01%/°C
- 量程温度系数读数的 0.02%/°C
特征
压电绝对压力传感器
902B 系列压电传感器基于硅压阻式压力传感器，可测量绝对真空压力，精度为读数的 ±1%（从 100-1000 Torr）。该传感器坚固耐用，可抵抗机械振动和重力。此外，传感器技术使传感器的气体类型不受影响。由于只有不锈钢 316 暴露在工艺气体中，该传感器可用于许多要求苛刻的应用。
数字和模拟接口
902B 提供 EtherCAT、RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。此外，902B 还具有 16 位模拟压力输出，可连接到外部模拟设备，用于压力读数或闭环控制。标准输出在 0-10 VDC 范围内呈线性，但也提供其他输出。
过程控制继电器
902B 最多有三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。SPDT 继电器包括常开和常闭触点，可设置为高于或低于设定点跳闸值通电。许多应用需要持续监测系统压力并警告非典型压力水平。902B 灵活的继电器选件可在压力异常和断电时向外部安全逻辑发出警告
紧凑型设计
902B 的紧凑设计大大减少了传感器占用的空间。这对系统设计人员特别有吸引力，并允许设计紧凑的系统或设备。902B 还提供 9 引脚版本，向后兼容第一代 902。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从 >5 米外看到单个传感器或组合压力读数。
PDR900 电源和显示器
