903 倒置磁控管冷阴极真空传感器采用倒置磁控管设计原理,可在远低于传统冷阴极真空传感器的压力下工作。903 真空计具有用于离子收集的第二个馈通件,确保读数结果准确。其坚固耐用的设计和在恶劣环境中高效运行的能力,可提供快速、可靠和稳定的压力真空测量。
- 压力测量范围广,从 3 x 10-10至 5 x 10-3托
- 集成电子元件,节省空间和成本
- 隔离式离子收集器提高了传感器对污染影响的抵抗力
- 高压可以在较高压力下停用,以降低传感器污染的风险
- 一个带 LED 状态指示灯的设定点是过程控制的标准配置
- 无灯丝烧坏,维护成本低
规格
传感器类型
倒置磁控管冷阴极
安装方向
任何
测量范围
3 x 10-10至 5 x 10-3托
设定点范围
3 x 10-10至 5 x 10-3Torr(仅限标准 903)
重复性
约5%的读数
校准气体
空气、氮气
连接器
9 针“D”型
工作温度
0° 至 50° C(32° 至 122° F)
烘烤温度
400°C(752°F),无电子元件
相对湿度
温度低于 31° C 时最大 80%,在 40° C 时线性降低至 50%
继 电器
1 个 SPDT 继电器设定点(仅限标准 903)
继电器触点额定值
1 A @ 30 VDC,电阻式
继电器响应
< 50 毫秒(0 至 99%),Δp 从 5.0 x 10-8 到 3.0 x 10-4 Torr
电源要求
14 至 30 VDC,最大 3 瓦
电压
903(标准):1.5 至 8.7 VDC 903 (AP):0.5 至 7.7 VDC
暴露材料
304 和 302 不锈钢、铝、铬镍铁合金® x-750、玻璃、氧化铝陶瓷
外壳材质
ABS塑料,UL94-5V阻燃等级(带导电涂层)
内部容积
15.0毫升
重量
2.3 lb (1.04 kg),带 CF 法兰
显示
903(标准)LED 指示:设定点(红色)、高压(黄色)和功率(绿色)903 (AP) LED 指示:真空(红色)、高压(黄色)和电源(绿色)
合规
CE认证
特征
过程控制继电器
Standard 903 有一个用于过程控制的继电器设定点标准,可以设置为在其设定点范围内的任何位置跳闸。设定点激活状态由三个 LED 指示灯之一显示。还指示了电源和高压状态。
高压激活
高压激活功能是一种便捷的方式,让您在不关闭整个系统的情况下在本地关闭 903 的电源。在高于 10 的压力下停用高压-2Torr减少了传感器中污染的影响。