905 MicroPirani™ 真空压力传感器套件

905 MicroPirani™ 真空传感器套件是一款超紧凑的宽量程真空传感器，专为 OEM 系统集成而设计。该传感器基于久经考验的热导率MEMS（微电子机械系统）传感器技术，可满足对集成真空测量解决方案的需求。

测量范围广，从大气压到10^-5托
三个集电极开路设定点，用于高级过程控制
通过主机处理器或计算机进行用户友好的数字控制
坚固耐用的固态传感器可抵抗振动和重力
标准 DIP 28 引脚封装，易于集成
模拟输出 0.5 VDC/十倍频程
规格
- 数字通信
  串行UART，TTL电平
- 测量范围
  1 x 10-5 至 760 Torr
  1 x 10-5 至 1000 mbar
  1 x 10-3 至 1 × 10+5 Pascal
- 工作温度
  5° 至 40°C（41° 至 104°F）
- 最高烘烤温度
  130°摄氏度（266°华氏度）
- 储存温度
  -10° 至 55°C（14° 至 131°F）
- 模拟输出
  0.5 伏直流电 – 4.5 伏直流电
- 电源要求
  +5 VDC （±2%），45 mA
- MicroPirani 精度
  5%（在 25°C 下测量的 1E-3 至 100 Torr 氮气压力的典型测量精度）
- 暴露材料
  硅、SiO2、SiN4、环氧树脂、金
- 重量
  9 克（电子模块）
- 设定点配置
  3 集电极开路输出，50 mA 灌电流
- 单位
  托尔、米巴、帕斯卡
特征
专为 OEM 系统集成而设计

905 MicroPirani 传感器套件是一款经过校准的即插即用真空压力传感器解决方案，用于 OEM 系统集成。该套件由一个基于MEMS的压力传感器和一个测量电子元件和处理器模块组成。传感器模块可以很容易地集成到设备真空系统或歧管中，占用的空间很小。该传感器设计用于在连接到 7.6 mm 孔口时进行 O 形圈密封。

串行通信

TTL 电平 UART 串行接口（通用异步接收器/发射器）可实现与外部 UART 串行设备的数字通信。该接口可用于实时压力读取，并可直接从外部主机微处理器设置和配置数字参数。

MicroPirani™ 传感器元件

MicroPirani 传感器元件由硅芯片结构组成，其中热导率在一个小腔中测量，气体通过扩散而不是流动通过。MicroPirani 的测量范围比传统的基于线的皮拉尼和对流规低 1-2 个数量级。该传感器可以安装在任何方向，而不会影响测量性能。

评估板

MicroPirani 传感器套件专为高集成度而设计，但评估板可在几分钟内启动并运行 MicroPirani 传感器套件。该评估板配有一个安装在 KF16 测试法兰上的传感器元件，便于真空连接。该评估板提供 RS232 和 RS485 数字通信，可直接连接到 PC，用于实时压力数据记录和数字参数设置。为了便于连接，所有传感器套件 I/O 引脚均可通过评估板上的螺丝端子获得。该评估板还与PDR900控制器兼容，可用于压力读数和数字参数设置。

0.5 VDC/十倍频程模拟输出

模拟电压输出提供每十倍频程 0.5 VDC 的对数线性压力信号，可轻松连接到模拟测量设备并转换为压力读数。

模拟输出 VDC 与压力的关系（以托为单位）
标准 DIP 28 引脚封装

该电子模块适合标准的 28 引脚 DIP 插座，可与其他电子元件一起轻松集成在印刷电路板上。传感器模块可以通过电路板接线，也可以通过电子模块的特殊扁平电缆连接。

应用
功能框图

905 MicroPirani 传感器套件可用于各种应用和系统，包括：
质谱仪
在质谱仪中，分子之间的平均距离必须达到一定距离才能激活分析池。MicroPirani 传感器套件可用于测量压力，从而确定分子的足够平均自由程。质谱仪的尺寸在不断缩小，传感器套件大大减少了传统真空计占用的空间，从而实现了更紧凑的设备设计。
泵送系统
传统的真空计在泵送系统中占据了很大的空间。传感器套件的紧凑尺寸使泵制造商能够将真空测量解决方案集成到多级涡轮分子泵系统等泵送系统中。
太空飞行系统
MEMS传感器设计重量轻，坚固耐用，可用于要求苛刻的应用和极端环境，如太空飞行设备。电子元件和传感器元件设计用于承受火箭发射过程中经历的极端重力和强烈振动。