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910DualTrans™MicroPirani™-绝对压电真空压力传感器-进口仪器仪表—埃华德机电科技

MKS真空薄膜计/

910 DualTrans™ MicroPirani™ – 绝对压电真空压力传感器

910 传感器专为宽范围压力测量应用而设计,结合了压电和微型皮拉尼™传感器技术。与传统的热导率计相比,组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。   绝对压力测量范围为 1500 至 10-5托 单个传感器集成两…

  • 产品详情

910 传感器专为宽范围压力测量应用而设计,结合了压电和微型皮拉尼™传感器技术。与传统的热导率计相比,组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。

 

  • 绝对压力测量范围为 1500 至 10-5
  • 单个传感器集成两个传感器,测量范围广
  • 11 至 1500 Torr 的气体独立绝对压力测量
  • 快速、准确和可重复的压力测量缩短了工艺周期时间
  • 可选 3 个设定点,响应时间快,可实现可靠的过程控制
  • 可选的集成触摸屏显示器,可用于局部压力指示等

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