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910 传感器专为宽范围压力测量应用而设计，结合了压电和微型皮拉尼™传感器技术。与传统的热导率计相比，组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。
- 绝对压力测量范围为 1500 至 10-5托
- 单个传感器集成两个传感器，测量范围广
- 11 至 1500 Torr 的气体独立绝对压力测量
- 快速、准确和可重复的压力测量缩短了工艺周期时间
- 可选 3 个设定点，响应时间快，可实现可靠的过程控制
- 可选的集成触摸屏显示器，可用于局部压力指示等
规格
- 绝对测量范围约1.0 x 10-5至 1,500 Torr
- 数字通信RS485/RS232（4800-230400波特）
- 传感器类型 1：MicroPirani（MEMS 导热系数）类型 2：压电绝对值（MEMS 隔膜）
- 继 电器3 个继电器 SPDT（可选）
- 安装方向任何
- 设定点范围绝对值： 5.0 x 10-4至 1,500 Torr
- 校准气体空气、氩气、氦气、氮气、H2、H2O 蒸气、CO2、氙气、氖气
- 工作温度0- 40°C （32-104°F）
- 最高烘烤温度85°C （185°F），非工作状态
- 数字控制零点调整、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、设定点功能：值、迟滞、方向、使能、传感器状态、开关、LED 测试
- 数字状态压力读数、单位、设定点、运行时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商
- 模拟输出1-9.2 VDC，1 VDC/十倍频程，最大输出阻抗 100Ω（绝对压力）
- 模拟输出分辨率16 位
- 继电器触点额定值1 A @ 30VAC/DC，电阻式
- 继电器响应最大 100 毫秒
- 电源要求9-30 VDC，150 mA，< 1.2 瓦（最大值）
- 准确性5 x 10-4至 1 x 10-3托±读数
的 10% 1 x 10-3至 11 Torr ±读数的 5% 11 至 1000 Torr ±读数
的 0.75% - 重复性5 x 10-4至 10-3托尔 ±8% 读数
10-3Torr 至 11 Torr ±读数的 2% 11 至 1000 Torr ±读数
的 0.2% - 过压极限2250 Torr （绝对值）
- 内部容积2.8毫升（KF16）
- 暴露材料硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环氧树脂、304不锈钢、氟橡胶®
- 电子外壳和法兰304不锈钢
- 重量170 g （带 KF 16 法兰）
- 合规CE认证
特征
MicroPirani™ 传感器技术
与传统的皮拉尼测量仪不同，MicroPirani中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术，910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力，比标准 Pirani 传感器低二十年。传感器设计将对流的影响降至最低，因此 910 可以安装在任何方向上，而不会影响精度。
压电绝对压力传感器
压电陶瓷是一种绝对压力传感器，提供直接的压力读数，使测量与气体无关。压电传感器的测量范围从小于 1 Torr 到 1500 Torr。
模拟压力输出
910 还具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。
RS232 或 RS485 数字通信
910 具有 RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。
过程控制继电器
910 具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给压电测量或绝对微皮拉尼/压电组合测量。
紧凑型设计
这些真空传感器的紧凑设计大大减少了真空计占用的空间量。这对系统设计人员特别有吸引力，并允许更紧凑的真空系统。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从 >5 米外看到单个传感器或组合压力读数。
PDR900 电源和显示器
