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925 微型皮拉尼™真空传感器是一款基于独特的基于 MEMS（微机电系统）真空传感器的热导真空计。925 微型皮拉尼™提供模拟电压输出、数字接口和设定点继电器，用于过程控制。
- 绝对测量范围 10-5Torr 到大气压
- MicroPirani 传感器可抵抗突气或振动造成的损坏
- 模拟、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本
- 可选的集成触摸屏显示器可用于局部压力指示
- 三个可选的设定点继电器，用于过程控制
规格
- 数字通信RS485/RS232（4800 至 230400 波特）
- 传感器MicroPirani™（MEMS导热系数）
- 继 电器3 个继电器 SPDT（可选）
- 安装方向任何
- 测量范围约1.0 x 10-5Torr 到大气压
- 设定点范围约5.0 x 10-4Torr 至 500 Torr
- 校准气体空气、氩气、氦气、氮气、氢气、H2O 蒸气、CO2、氙气、氖气
- 工作温度0° 至 40°C（32° 至 104°F）
- 最高烘烤温度85°C （185°F），非工作状态
- 数字控制调零、大气调节、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、气体类型;设定点功能：值、滞后、方向、启用模拟输出、变送器状态、开关、LED测试
- 数字状态压力读数和单位、设定点、运行时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本部件号、制造商
- 模拟输出1 至 9 VDC，最大输出阻抗 100Ω，1 V/十倍频程
- 模拟输出分辨率16 位
- 继电器触点额定值1 A @ 30VAC/DC，电阻式
- 继电器响应最大 <100 毫秒
- 电源要求9 至 30 VDC，最大 < 1.5 瓦
- 准确性5 x 10-4至 10-3托±读数
的 10% 10-3至 100 Torr ±5% 读数的 100 Torr 至 atm ±读数
的 25% - 重复性10-3至 100 Torr ±读数的 2%
- 过压极限3000 Torr 绝对值
- 内部容积（KF16） 2.80 cc
- 暴露材料304不锈钢、硅、SiO2、Si3N4、金、氟橡胶®、低通气环氧树脂
- 电子外壳和法兰304不锈钢
- 重量170 克 （KF 16）
- 合规CE认证
特征
微型皮拉尼™传感器技术
925 传感器提供 1×10 的宽测量范围-5基于热导率测量的大气压。MicroPirani传感器由一个硅芯片和一个加热电阻元件组成，形成一个腔体的一个表面。芯片顶部的盖板形成腔体的另一表面。由于传感器的几何形状，腔内不能发生对流，因此传感器对安装位置不敏感。气体分子仅通过扩散传递到加热元件，在那里测量气体的热损失。
常见气体校准
与所有热导率传感器一样，925 对气体类型很敏感。为了补偿对气体的依赖性，MicroPirani具有许多常见的气体校准，可以通过数字接口进行选择。这使其成为定位真空系统中中细小泄漏的简单解决方案。校准气体包括：空气、氩气、氦气、氮气、氢气、H2O 蒸气、CO2、氙气和氖气。
模拟压力输出
925 还具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。
过程控制继电器
925 具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从 >5 米外看到单个传感器或组合压力读数。
PDR900 电源和显示器
