971B UniMag™ 真空传感器的测量范围为 1×10-8Torr 至 5×10-3Torr和基于冷阴极倒磁控管传感器技术。971B 是用于基础压力测量和控制的经济高效的解决方案。除了体积小、量程宽、成本低之外，971 UniMag™ 冷阴极倒置磁控管传感器真空计还可以通过数字通信或作为自主模拟单元进行操作。970B 系列传感器具有标准的 15 针 HD Sub-D 连接器。
- 绝对测量范围：1×10-8至 0.005 Torr
- 冷阴极阳极模块设计可供用户维修，以减少停机时间
- 通过模拟输出、RS232 或 RS485 轻松操作
- 可选的集成触摸屏显示器可用于局部压力指示
- 三个用户可配置继电器，用于过程控制
- 小尺寸设计提供紧凑的传感器解决方案
规格
绝对测量范围
1 x 10-8Torr 至 5 x 10-3托
数字通信
RS485 或 RS232
类型
真空传感器
传感器
冷阴极
显示
触摸屏（可选）
密封材料
氟橡胶
外壳
标准或IP56
电连接器
15 针，高密度，D-sub 公头
继 电器
0 或 3
安装方向
任何
设定点范围
1 x 10-8Torr 至 5 x 10-3托
校准气体
氮
工作温度
0-40°摄氏度（32-104°F）
最高烘烤温度
85°C （185°F），非工作状态
数字控制
压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正;设定点功能：值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点、气体类型
数字状态
压力读数和单位、设定点、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本
模拟输出
每十倍频程 0.5 VDC
继电器触点额定值
1 A @ 30VAC/DC，电阻式
电源要求
9-30 伏直流电，2 瓦
准确性
5 x 10-8Torr 到 10-3± 30% 的阅读量
重复性
5 x 10-8Torr 至 10-3 ±读数的 30%
过压极限
1500 托
内部容积
21毫升
暴露材料
304 和 403 不锈钢、氟橡胶®、铜镍和银铜合金、陶瓷、钛
电子外壳和法兰
304不锈钢
重量
12.7 盎司（360 克）
合规
CE认证
特征
数字通信
970B 系列真空传感器具有 RS232、RS485 和 EtherCAT（仅限 972B）数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。数字接口可用于控制压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正;设定点功能：值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点和气体类型。
0.5 VDC/十倍频程模拟输出
所有 970B 系列传感器都具有每十倍频程 0.5 VDC 的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。它可以模拟来自各种其他真空传感器的模拟电压输出。仿真功能可用于升级和替换 OEM 应用中其他供应商的仪表，而无需更改系统软件。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从 >5 米外看到单个传感器或组合压力读数。
过程控制继电器
970B系列具有多达三个机械式SPST继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。继电器触点的额定电流为 1 安培，用于 30 VAC 或 VDC、电阻负载。
应用
传感器和变送器测量范围。从上到下：971B、972B 和 974B
970B 系列传感器是紧凑、低成本的测量解决方案，适用于在大气压至 10 的压力范围内工作的真空用户-8托。970B 系列传感器体积小，非常适合希望减少占地面积和实现小型化的系统集成商。
应用包括：
- 分析设备（质谱仪控制）
- 扫描电子显微镜
- 涂层系统
- 半导体负载锁定压力控制
- 一般真空基座压力测量
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