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972BDualMag™冷阴极和MicroPirani™真空压力传感器-进口仪器仪表—埃华德机电科技

MKS真空薄膜计/

972B DualMag™ 冷阴极和 MicroPirani™ 真空压力传感器

972B DualMag™ 真空传感器的测量范围为 1x10-8Torr到大气压,它结合了冷阴极倒置磁控管和MicroPirani热导MEMS传感器技术。MicroPirani 自动控制冷阴极传感器,以确保最佳点火压力,同时提供比传统皮拉尼…

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972B DualMag™ 真空传感器的测量范围为 1×10-8Torr到大气压,它结合了冷阴极倒置磁控管和MicroPirani热导MEMS传感器技术。MicroPirani 自动控制冷阴极传感器,以确保最佳点火压力,同时提供比传统皮拉尼真空计低 1-2 个数量级的测量范围。通过降低冷阴极启动压力表,提高了可靠性并延长了维修间隔。

 

  • 绝对测量从 10 开始-8Torr 到大气压
  • 冷阴极阳极模块设计可供用户维修,以减少停机时间
  • RS232、RS485 或 EtherCAT/®模拟通信
  • 基于MEMS的MicroPirani传感器,用于低自动冷阴极导通压力
  • MicroPirani 在抽空循环期间自动归零,以提高准确性
  • 小尺寸设计提供紧凑的传感器解决方案

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