972B DualMag™ 真空传感器的测量范围为 1×10-8Torr到大气压，它结合了冷阴极倒置磁控管和MicroPirani热导MEMS传感器技术。MicroPirani 自动控制冷阴极传感器，以确保最佳点火压力，同时提供比传统皮拉尼真空计低 1-2 个数量级的测量范围。通过降低冷阴极启动压力表，提高了可靠性并延长了维修间隔。
- 绝对测量从 10 开始-8Torr 到大气压
- 冷阴极阳极模块设计可供用户维修，以减少停机时间
- RS232、RS485 或 EtherCAT/®模拟通信
- 基于MEMS的MicroPirani传感器，用于低自动冷阴极导通压力
- MicroPirani 在抽空循环期间自动归零，以提高准确性
- 小尺寸设计提供紧凑的传感器解决方案
规格
模拟输出
每十倍频程 0.5 VDC
继电器触点额定值
1 A @ 30VAC/DC，电阻式
电源要求
9-30 伏直流电，2 瓦
准确性
5 x 10-8Torr 到 10-3± 30% 的阅读
10-3至 100 ±5% 的读数
重复性
5 x 10-8Torr 到 10-3± 30% 的阅读
10-3至 100 ±2% 的读数
过压极限
1500 托
内部容积
21毫升
暴露材料
304 和 403 不锈钢、硅、SiO2、SiN4、金、氟橡胶®、环氧树脂、陶瓷
电子外壳和法兰
304不锈钢
重量
12.7 盎司（360 克）
合规
CE认证
连接
RS232 或 RS485：15 针 D-sub 公头
EtherCAT：1 个 15 针 D-sub 公头，2 个 RJ45 母头
特征
数字通信
970B 系列真空传感器具有 RS232、RS485 和 EtherCAT（仅限 972B）数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。数字接口可用于控制压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正;设定点功能：值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点和气体类型。
0.5 VDC/十倍频程模拟输出
所有 970B 系列传感器都具有每十倍频程 0.5 VDC 的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。它可以模拟来自各种其他真空传感器的模拟电压输出。仿真功能可用于升级和替换 OEM 应用中其他供应商的仪表，而无需更改系统软件。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从 >5 米外看到单个传感器或组合压力读数。
过程控制继电器
970B系列具有多达三个机械式SPST继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。继电器触点的额定电流为 1 安培，用于 30 VAC 或 VDC、电阻负载。
应用
传感器和变送器测量范围。从上到下：971B、972B 和 974B
970B 系列传感器是紧凑、低成本的测量解决方案，适用于在大气压至 10 的压力范围内工作的真空用户-8托。970B 系列传感器体积小，非常适合希望减少占地面积和实现小型化的系统集成商。
应用包括：
- 分析设备（质谱仪控制）
- 扫描电子显微镜
- 涂层系统
- 半导体负载锁定压力控制
- 一般真空基座压力测量
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