974B QuadMag™ 真空传感器的测量范围为 1×10-8至 1500 Torr，结合了冷阴极倒磁控管、MicroPirani 和压电差分传感器技术。974B 专为真空负载锁内的压力测量而设计。它能够用从大气压到10大气压的绝对压力测量来取代负载锁上的多个压力测量设备-8Torr 和大气切换能力。随后，OEM 可以通过简化的负载锁定设计来降低成本。
- 绝对测量从 10 开始-8Torr 到大气压
- 冷阴极阳极模块可供用户维修，以减少停机时间
- 基于MEMS的MicroPirani传感器可实现较低的自动冷阴极导通压力
- 通过模拟输出、RS232 和 RS485 轻松操作
- 可选配集成式触摸屏显示器，用于局部压力指示等。
- 小尺寸设计提供紧凑的传感器解决方案
规格
绝对测量范围
约1.0 x 10-8至 1500 Torr
差分测量范围
-760 至 +760 Torr
数字通信
RS485 或 RS232
类型
真空传感器
传感器
冷阴极 – MicroPirani™ – 压电差分
继 电器
3 个继电器，SPST
安装方向
任何
设定点范围
绝对值： 1 x 10-8Torr 至 1000 Torr 差值：-760 至 +100 Torr
校准气体
氮
工作温度
0-40°摄氏度（32-104°F）
最高烘烤温度
85°C （185°F），非工作状态
数字控制
压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正;设定点功能：值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点、气体类型
数字状态
压力读数和单位、设定点、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本
模拟输出
0.5 VDC/十进制
继电器触点额定值
1 A @ 30VAC/DC，电阻式
电源要求
9-30 伏直流电，2 瓦
准确性
5 x 10-8Torr 到 10-3： ± 30% 的读数
10-3至 50：读数的 ±2% 50 至 1000 Torr：读数
的 ±1%
压电陶瓷差分精度
-10 至 +10 Torr：读数的 ±10%-100 至 -10 Torr：读数的 ±8%-760 至 -100 Torr：读数的 ±1%+10 至 100 Torr：读数的 ±5%
压电陶瓷差分重复性
-760 至 +10 Torr ±读数的 1%
压电陶瓷差分零点稳定性
满量程的 ±0.1% （F.S. = 760 Torr）
过压极限
1500 托
内部容积
21毫升
暴露材料
304 和 403 不锈钢、硅、SiO2、SiN4、金、氟橡胶®、环氧树脂、陶瓷
电子外壳和法兰
304不锈钢
重量
12.7 盎司（360 克）
合规
CE认证
连接
15 针 D 型超小型公头
特征
数字通信
970B 系列真空传感器具有 RS232、RS485 和 EtherCAT（仅限 972B）数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。数字接口可用于控制压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正;设定点功能：值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点和气体类型。
0.5 VDC/十倍频程模拟输出
所有 970B 系列传感器都具有每十倍频程 0.5 VDC 的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。它可以模拟来自各种其他真空传感器的模拟电压输出。仿真功能可用于升级和替换 OEM 应用中其他供应商的仪表，而无需更改系统软件。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从 >5 米外看到单个传感器或组合压力读数。
过程控制继电器
970B系列具有多达三个机械式SPST继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。继电器触点的额定电流为 1 安培，用于 30 VAC 或 VDC、电阻负载。
应用
传感器和变送器测量范围。从上到下：971B、972B 和 974B
970B 系列传感器是紧凑、低成本的测量解决方案，适用于在大气压至 10 的压力范围内工作的真空用户-8托。970B 系列传感器体积小，非常适合希望减少占地面积和实现小型化的系统集成商。
应用包括：
- 分析设备（质谱仪控制）
- 扫描电子显微镜
- 涂层系统
- 半导体负载锁定压力控制
- 一般真空基座压力测量
销售热线：18191870513 qq :2560585967
进口仪器仪表 —埃华德机电科技 
