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974BQuadMag™冷阴极-MicroPirani™-压电真空压力传感器-进口仪器仪表—埃华德机电科技

MKS真空薄膜计/

974B QuadMag™ 冷阴极 – MicroPirani™ – 压电真空压力传感器

974B QuadMag™ 真空传感器的测量范围为 1x10-8至 1500 Torr,结合了冷阴极倒磁控管、MicroPirani 和压电差分传感器技术。974B 专为真空负载锁内的压力测量而设计。它能够用从大气压到10大气压的绝对压力测…

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974B QuadMag™ 真空传感器的测量范围为 1×10-8至 1500 Torr,结合了冷阴极倒磁控管、MicroPirani 和压电差分传感器技术。974B 专为真空负载锁内的压力测量而设计。它能够用从大气压到10大气压的绝对压力测量来取代负载锁上的多个压力测量设备-8Torr 和大气切换能力。随后,OEM 可以通过简化的负载锁定设计来降低成本。

  • 绝对测量从 10 开始-8Torr 到大气压
  • 冷阴极阳极模块可供用户维修,以减少停机时间
  • 基于MEMS的MicroPirani传感器可实现较低的自动冷阴极导通压力
  • 通过模拟输出、RS232 和 RS485 轻松操作
  • 可选配集成式触摸屏显示器,用于局部压力指示等。
  • 小尺寸设计提供紧凑的传感器解决方案

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